الملخص |
الأفلام الرقيقة والمكونة من عناصر التيتانيوم، الزركونيوم والرصاص (PZT) والتي تمّ تحضيرها بواسطة الترسيب الموجي باستخدام الليزر على شرائح بليتنيوم (Pt) والمطلي بالسيليكون (Si) تركز الدراسة على تأثير الضغط الجزئي للأكسجين ودرجة حرارة الشريحة وزمن التعريض لليزر على اتجاه الإحداثيات للأفلام الرقيقة وعلى طبيعة تركيبة الشريحه. لقد خلصت الدراسة إلى ان اتجاه احداثيات [111] لأفلام (PZT) يُمكن أن يتم تحضيرها تحت الشروط التالية وهي أن يكون الضغط الجزئي للأكسجين 300 ميلي تود وأن حرارة الوسط للفيلم هي 605 دردجة مئوية ومدة الترسيب 16 دقيقة. |
http://www.najah.edu/index.php?page=2149&l=ar&extra=%26id%3D241
ليست هناك تعليقات:
إرسال تعليق